威尼斯官方网站入口网址官方版 朗姆商讨央求在缝隙填充膜蚀刻时辰具有扼制和原位钝化及硬掩模保护专利, 将膜前体滚动成缝隙内的膜
国度常识产权局信息傲气，朗姆商讨公司央求一项名为“在缝隙填充膜蚀刻时辰具有扼制和原位钝化及硬掩模保护的原子层千里积”的专利，公开号CN122181220A，央求日历为2024年11月。
专利摘要傲气，本文公开触及推论具有原位钝化的等离子体增强原子层千里积(PEALD)以及在推论缝隙填充膜蚀刻时保护硬掩模的示例。一个示例提供了一种步伐，其包括推论多个PEALD轮回以将膜千里积到缝隙中。每个PEALD轮回包括将膜前体引入处分室，以将膜前体吸附到缝隙内的名义上，威尼斯官方网站入口网址官方版然后清扫该室。PEALD轮回还包括在滚动步伐中，使用包含响应物和扼制剂的气体羼杂物酿成等离子体，以将衬底裸露于扼制剂并将膜前体滚动成缝隙内的膜。PEALD轮回还包括在滚动步伐之后的钝化步伐中，将衬底裸露于包含钝化剂的等离子体以从缝隙中的名义去除至少一些扼制剂。
声明：市集有风险，投资需严慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不组成个东说念主投资提倡。
2026世界杯中国官方入口本文源自：市集资讯威尼斯官方网站入口网址官方版